6月30日消息，超強(qiáng)心臟在衛(wèi)星激光通信中，國(guó)衛(wèi)光通光束控制精度關(guān)乎通信質(zhì)量，星激信問(wèn)快速反射鏡猶如“精密心臟”。世僅

近日，枚元中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研制出集成角度傳感器的硬幣高性能MEMS快反鏡，鏡面尺寸大、超強(qiáng)心臟封裝體積小，國(guó)衛(wèi)光通性能優(yōu)良，星激信問(wèn)在激光衛(wèi)星通信方面潛力巨大。世僅

該快反鏡歷經(jīng)近五年才研制成功，枚元采用雙層異構(gòu)集成與晶圓級(jí)鍵合工藝，硬幣體積僅一枚1元硬幣大小。超強(qiáng)心臟

封裝后的國(guó)衛(wèi)光通MEMS快反鏡

它攻克傳統(tǒng)機(jī)械快反鏡和原有MEMS快反鏡的技術(shù)瓶頸，打造出航天級(jí)產(chǎn)品，星激信問(wèn)指向精度達(dá)μrad量級(jí)，滿足星載應(yīng)用的超高性能指標(biāo)。

受手機(jī)屏幕啟發(fā)，團(tuán)隊(duì)利用硅壓阻應(yīng)變?cè)砑善辖嵌葌鞲衅?，通過(guò)結(jié)構(gòu)創(chuàng)新使靈敏度提升63%，優(yōu)化光束控制精確性。

測(cè)試結(jié)果表明，在特定頻率下，角度精度達(dá)標(biāo)，最大動(dòng)態(tài)表面形變僅2納米。

官方打了一個(gè)比方，這就相當(dāng)于在足球場(chǎng)大小的鏡面上，所有起伏不超過(guò)一根頭發(fā)絲的直徑，滿足遠(yuǎn)距離衛(wèi)星激光通信對(duì)鏡面面型的嚴(yán)苛要求。

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